反射干涉光谱法测量固体薄膜的光学常数和厚度
A Reflection Interference Method for Determining Optical Constants and Thickness of a Thin Solid Film作者机构：复旦大学物理系三束材料改性国家重点实验室上海200433
出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)
年 卷 期：2000年第20卷第3期
页 面：283-285页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程]
摘 要：本文报道一种简单的方法 ,从平面介质薄膜的反射干涉光谱来计算薄膜的光学常数和厚度。当一束光照射在基板上的介质膜上时 ,由于膜上下界面反射光的相干 ,会使反射光谱的曲线有一定的波动。我们对反射相干光谱进行理论分析 ,给出计算公式 ,从测量曲线中的实验值得出薄膜的光学常数 n、k以及厚度等参数。此种方法简单可行 ,而且易于编程处理。
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