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DMOS器件及工艺的研究与分析

作     者：张相飞 周芝梅 王永刚 万勇 

作者机构：国网思极紫光(青岛)微电子科技有限公司北京102200 

出 版 物：《科技风》 (Technology Wind)

年 卷 期：2019年第4期

页      面：117-119页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：DMOS LDMOS VDMOS 

摘      要：本文介绍了DMOS器件的基本知识,包括DMOS的基本工艺及类型,介绍了实际工艺中的DMOS结构及参数。

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