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硅压力传感器的随机振动步进试验定量分析评估

EVALUATION AND ANALYSIS OF RELIABILITY OF SILICON PIEZORESISTIVE PRESSURE TRANSD UCER TESTED BY RANDOM VIBRATION STEP STRESS TEST

作     者:刘广泉 秦丽 石安利 LIU GuangQuan;QIN Li;SHI AnLi

作者机构:中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 

出 版 物:《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期:2012年第34卷第3期

页      面:465-468页

核心收录:

学科分类:08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0802[工学-机械工程] 081101[工学-控制理论与控制工程] 0701[理学-数学] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0801[工学-力学(可授工学、理学学位)] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)] 

主  题:步进应力试验 可靠性评估 随机振动 应力—强度干涉模型 

摘      要:步进应力试验是一项不同于传统可靠性模拟实验的激发式试验技术,其属于可靠性强化试验范畴。在对硅压阻式压力传感器失效模式和失效机理调研的基础上,对其进行随机振动步进试验研究。通过基于传统设备的随机振动步进试验,使产品设计和工艺缺陷得以暴露,提出相关改进措施,并根据应力—强度干涉模型(stress-strength interference model)计算其可靠度。

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