基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究

作     者：雷程 唐力程 毛海央 王岩 王玲 胡建东 欧文 熊继军 LEI Cheng;TANG Li-cheng;MAO Hai-yang;WAMG Yan;WANG Ling;HU Jian-dong;OU Wen;XIONG Ji-jun

作者机构：中北大学电子测试技术国防科技重点实验室山西太原030051 中国科学院微电子研究所智能感知研发中心北京100029 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器中心江苏无锡214135 河南农业大学机电工程学院河南郑州450000 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2016年第1期

页      面：7-8,36页

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61401458,61335008,6136006,51205373) 江苏省自然科学基金资助项目(BK20131098) 河南省科技开放合作项目(132106000073) 

主　　题：湿度传感器 灵敏度 聚酰亚胺 纳米化 等离子体技术 亚胺化 

摘      要：针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题,文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器,该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的,该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料和纳米化聚酰亚胺材料的两种器件在不同湿度条件下的电容响应特性进行了测试,测试结果表明,在相对湿度50%~80%范围内,基于纳米化聚酰亚胺材料的器件灵敏度高于同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料器件约50%。