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直流电路系统测试圆光栅的分析与应用

The Analysis and Application of DC Circuit System for Testing Circular Grating

作     者：龚亲文 余光清 游素芳 

作者机构：中国科学院光电技术研究所成都610209 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：1996年第23卷第S1期

页      面：99-103页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

主　　题：光栅检验 误差测量 直径测量 直流电路 圆光栅 

摘      要：分析了采用直流电路系统测试圆光栅直径误差 Φi(或刻线误差 θi)时所产生的差异等问题 ,讲述了能较真实准确地得出圆光栅 Φi(或 θi)这一单项误差指标的测试与数据处理方法。

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