量子阱红外探测器光栅耦合参数的优化

作     者：连洁 王青圃 程兴奎 陈大明 张飒飒 LIAN Jie;WANG Qing-pu;CHENG Xing-kui;CHEN Da-ming;ZHANG Sa-sa

作者机构：山东大学信息科学与工程学院山东济南250100 山东大学物理与微电子学院山东济南250100 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2006年第35卷第2期

页      面：197-200页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(69976016) 山东省中青年科学家奖励基金资助课题(2004BS01007) 

主　　题：量子阱 光栅耦合 光栅参数 

摘      要：基于傅里叶光学的知识,分别对量子阱红外探测器的一维和二维光栅耦合模式进行了研究,得到器件的相对吸收率随波长和光栅周期之比的变化曲线,把此曲线作为优化光栅常数的依据。对于给定峰值波长的探测器,在波长与一维光栅周期之比为1时,吸收率最大;波长与二维光栅周期之比为0.7时,吸收效率最高,结果与已发表的数据相符。此外,还对刻蚀误差的影响进行了讨论,当实际刻蚀的光栅常数与优化的有偏差时,耦合效率降低。