炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响
Effect of Furnace Temperature on the Composition and Microstructure of SiC Coatings by CVD作者机构：国防科技大学航天与材料工程学院湖南长沙410073
出 版 物：《国防科技大学学报》 (Journal of National University of Defense Technology)
年 卷 期：2002年第24卷第6期
页 面：23-26页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
主 题：涂层组成 显微结构 炉温梯度 化学气相沉积 SiC涂层 碳化硅陶瓷材料 三氯甲基硅烷
摘 要：采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素。
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