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环境扫描电子显微镜中真空系统特点及成像信号分析

VACUUM SYSTEM AND IMAGING SIGNAL IN ENVIRONMENTAL SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

作     者：陈长琦 朱武 干蜀毅 

作者机构：合肥工业大学精密仪器系安徽合肥230009 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2001年第7卷第2期

页      面：122-124页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：环境扫描电子显微镜 ESEM 成像信号 真空系统 信号分析 

摘      要：环境扫描电子显微镜（ESEM）是针对常规扫描电子显微镜（SEM）在使用过程中暴露 出来的一些重大缺陷而设计的。它淘汰了SEM中繁琐、复杂的样品准备工作，扩大了仪器的 使用范围，并使图像更清晰。着重介绍了ESEM的工作原理、与此有关的真空系统构成及成像 信号分析。

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