真空热退火温度对单相Ag_2O薄膜微结构和光学性质的影响

作     者：张增院 郜小勇 冯红亮 马姣民 卢景霄 Zhang Zeng-Yuan;Gao Xiao-Yong;Feng Hong-Liang;Ma Jiao-Min;Lu Jing-Xiao

作者机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室郑州450052 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2011年第60卷第3期

页      面：442-447页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60807001) 国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2011CB201605) 河南省教育厅自然科学研究计划项目(批准号:2010A140017)资助的课题~~ 

主　　题：Ag2O薄膜 热退火温度 微结构 光学性质 

摘      要：利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为Ag.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变.