脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定
Numerical calculation of the electron-phonon coupling relaxation time in pulse laser ablation作者机构：华北科技学院基础部三河065201
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2009年第58卷第2期
页 面：1077-1082页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：为了提高脉冲激光制备薄膜的质量,准确掌握电声弛豫时间是关键,它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起着决定性的作用.文中以铝靶材为例,利用经典的双温方程通过时域有限差分法(FDTD)得到电子、离子亚系统的温度随时间和位置演化的图像,进而得到电声弛豫时间的准确值.这样便能准确划分热烧蚀和非平衡烧蚀,从而更好地控制激光的烧蚀过程.同时找出了电声弛豫时间随激光脉宽以及能量密度变化的规律.
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