多元超导红外探测器电极掩膜板的制备及应用
Preparation and Application of the Electrode Mask for Superconductive Multielement IR Detectors作者机构：昆明物理研究所长春光学精密机械学院
出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)
年 卷 期：1995年第17卷第2期
页 面：14-16页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：由于ＹＢａＣｕＯ是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料，且通过一次光刻工艺后ＴｃＯ要下降３～４Ｋ．因此，减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺，在电极剥离几乎无法成功的情况下，用电极掩膜板的方法可获得性能优良的微形图样，使成品率达１００％。
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