调制度测量轮廓术的系统标定

作     者：邵双运 苏显渝 王华 李泽仁 Shao Shuangyun;Su Xiangyu;Wang Hua;Li Zheren

作者机构：四川大学电子信息学院光电系成都610064 北京交通大学理学院北京100044 中国工程物理研究院流体物理研究所绵阳621900 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2005年第25卷第2期

页      面：203-206页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金 中国工程物理研究院联合基金(10376018)资助课题 

主　　题：光学测量 光学三维传感 调制度测量轮廓术 标定 高度映射 

摘      要： 调制度测量轮廓术是一种采用垂直测量方式的三维面形测量方法,可以测量表面有剧烈变化区域的复杂物体。提出了一种基于调制度测量轮廓术测量系统的标定方法,其纵向标定是利用几个相互平行的标定平面建立与CCD像面各像素点对应的测量高度与实际高度之间的映射关系,并利用映射关系确定每一像素点对应的映射关系系数,然后建立映射关系系数查找表,存入测量系统中,完成纵向标定。首先分析了测量系统的误差来源,然后给出了标定方法和标定过程,最后给出了实测结果。结果表明,利用提出的系统标定方法可以有效消除调制度测量轮廓术测量系统误差,显著地提高了系统测量精度。