压阻式硅微加速度计的研制
Development of piezoresistive silicon-micro-accelerometer作者机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001
出 版 物:《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)
年 卷 期:2003年第22卷第12期
页 面:40-42页
核心收录:
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题:压阻式 硅微加速度计 结构设计 等离子体刻蚀 MEMS
摘 要:介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。