超小型声表面波谐振器
Super-small SAW resonators作者机构：南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室南京210093
出 版 物：《应用声学》 (Journal of Applied Acoustics)
年 卷 期：2003年第22卷第6期
页 面：1-5页
学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：声表面波谐振器 指条反射阵 剪切横波 COM理论 滤波器 通信系统
摘 要：传统声表面波谐振器中的指条反射阵占据了器件的大部分尺寸。由于剪切横波(SH wave)在材料基片的自由端面反射时不产生模式转换,因此可望利用自由端面来代替SH型声表面波谐振器中的指条反射阵,实现超小型低损耗的新型声表面波谐振器。本文首先用COM理论对新结构的谐振器进行了讨论,并且在实验上实现了120MHz至440MHz的几个单端谐振器(ST36°石英基片),其插入损耗从0.87dB至1.29dB,面积缩小到传统谐振器的50％至25％。
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