基于氧化铝陶瓷的耐高温平面螺旋电感的制备及测试

作     者：任重 谭秋林 蔡婷 郑庭丽 熊继军 REN Zhong;TAN Qiulin;CAI Ting;ZHENG Tingli;XIONG Jijun

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044 

出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components And Materials)

年 卷 期：2014年第33卷第10期

页      面：55-58页

学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金重点项目资助(No.61335008) 访问学者基金项目资助(No.2013MS03) 高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助 

主　　题：平面螺旋电感 氧化铝陶瓷 温度 频率 阻抗 品质因子 

摘      要：利用高温共烧陶瓷（HTCC）技术中的叠片、高温烧结工艺获得了白色致密的氧化铝陶瓷基板,并结合丝网印刷、后烧工艺在该基板上形成了平面螺旋电感图形,制备了一种陶瓷基平面螺旋电感,并在室温至800℃的温度范围内对其进行了高温性能测试。测试结果表明,当测试频率低于电感的自谐振频率时,电感的特性参数如电感、等效串联电阻以及Q值随温度、频率均发生了不同程度的改变。电感的自谐振频率对温度的平均变化量为-1.97kHz/℃,Q值最高为10.5,最佳工作频段为16-27 MHz。它是一种可应用于高温恶劣环境中的无源元件。