基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

作     者：张蜡宝 熊予莹 初本莉 余红华 肖化 ZHANG La-Bao;XIONG Yu-Ying;CHU Ben-Li;YU Hong-Hua;XIAO Hua

作者机构：华南师范大学物理与电信工程学院广州510006 

出 版 物：《无机材料学报》 (Journal of Inorganic Materials)

年 卷 期：2007年第22卷第6期

页      面：1117-1121页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：广东省教育厅自然科学研究项目(04J003) 

主　　题：氧化锌 欧珀 磁控溅射 光子晶体 

摘      要：采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.