Pd/Ti-Al合金复合膜表面缺陷的影响因素

作     者：张栋强 陈日志 范益群 徐南平 ZHANG Dongqiang;CHEN Rizhi;FAN Yiqun;XU Nanping

作者机构：南京工业大学化学化工学院材料化学工程国家重点实验室江苏南京210009 

出 版 物：《南京工业大学学报（自然科学版）》 (Journal of Nanjing Tech University(Natural Science Edition))

年 卷 期：2012年第34卷第1期

页      面：1-4,29页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(20636020) 江苏省高校优势学科建设工程资助项目(PAPD) 

主　　题：Pd膜 Ti-Al合金 相互扩散 小孔缺陷 

摘      要：金属基Pd复合膜在高温下易产生小孔缺陷,目前对造成膜表面小孔缺陷的主要原因尚不清楚。借助环境扫描电镜(SEM)考察了气氛环境、高温烧结以及金属间相互扩散等因素对Pd/Ti-Al合金复合膜表面性能的影响。结果发现:气氛环境、高温烧结和金属间相互扩散都会对Pd复合膜的性能产生一定的影响,但是高温下Pd与Ti-Al合金间相互扩散是Pd/Ti-Al合金复合膜表面小孔缺陷形成的最主要影响因素。