NdFeB永磁体表面磁控溅射铝防护镀层性能研究

作     者：许伟 代明江 胡芳 

作者机构：广东工业大学材料与能源学院广州510081 广州有色金属研究院新材料研究所广州510651 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2014年第43卷第1期

页      面：77-80,130页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家科技支撑计划(2012BAE02B01)~~ 

主　　题：NdFeB永磁体 Al薄膜 磁控溅射 耐腐蚀 

摘      要：目的研究一种NdFeB永磁体表面腐蚀防护技术。方法采用磁控溅射技术,在烧结NdFeB永磁体表面沉积一层纯铝防护薄膜,然后对纯铝薄膜进行阿洛丁化学转化复合处理,表征膜层的表面和截面形貌,并研究结构及耐腐蚀性能。结果沉积的Al中间层和Al薄膜均结构致密,膜/基界面平整,膜层的自腐蚀电流密度为3.5×10-6A/cm2,说明纯Al薄膜能够对NdFeB永磁体提供有效的防护。阿洛丁化学转化可使铝薄膜表面更加致密,自腐蚀电流密度低至7.9×10-7A/cm2,进一步提高了纯铝薄膜的防护性能。结论 NdFeB永磁体表面磁控溅射镀铝是一种有效且环保的防护技术,可用于替代不环保的电镀防护。