椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析
Measuring refractive of film by using elliptic polarimeter and analysing resolution of thickness of one or more periods作者机构：浙江大学物理系浙江杭州310027
出 版 物：《实验技术与管理》 (Experimental Technology and Management)
年 卷 期：2011年第28卷第6期
页 面：42-46页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度。通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度。
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