钢基体中碳与铁对化学气相沉积TiN动力学的影响
Effects of Substrate Materials on Kinetics of Chemical Vapour Deposition of TiN作者机构：华东冶金学院冶金工程系马鞍山243002
出 版 物：《钢铁研究学报》 (Journal of Iron and Steel Research)
年 卷 期：1999年第11卷第5期
页 面：47-51页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：研究了在碳含量不同的钢基体上化学气相沉积ＴｉＮ的沉积速率。研究结果表明，随着钢中碳含量的提高，沉积速率呈线性增长，涂层硬度也随碳含量的增加而提高。基于铁的触媒作用，推导出ＴｉＮ的沉积速率方程为Ｖ＝ ｈ１＋ Ｋ１×ｘ（Ｃ）；对于碳含量较高的Ｃｒ１２ＭｏＶ钢和碳含量较低的２０钢基体，测得ＴｉＮ 沉积表面过程表观活化能分别为１６５．１１ ｋＪ／ｍ ｏｌ和１２０．３８ ｋＪ／ｍ ｏｌ。钢中合金元素对ＴｉＮ沉积速率的影响可忽略。
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