一种用于LSPR传感的纳米金属列阵制作方法

作     者：李飞 罗先刚 朱少丽 杜春雷 邓启凌 LI Fei;LUO Xian-gang;ZHU Shao-li;DU Chun-lei;DENG Qi-ling

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2007年第5卷第2期

页      面：121-124页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60678035 60507014) 

主　　题：纳米金属列阵 纳米球自组装 局域表面等离子体 

摘      要：提出利用光刻定位自组装填充的方法制作纳米金属列阵.在平面基板上通过光刻手段制作具有列阵微区的定位模板,再利用单分散聚苯乙烯纳米球在微区里进行自组装,得到单层规则排布的纳米球结构;进一步沉积金属后,通过去牺牲层工艺去除球体,可得到呈六角形分布的纳米金属列阵结构;最后对获得的纳米金属列阵结构的形貌和光学性能进行分析,给出金属纳米列阵结构的电子显微镜照片和消光谱.