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采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境

作     者:付景永 张隐奇 田彦宝 徐学东 韩晓东 吉元 

作者机构:北京工业大学固体微结构与性能研究所北京100022 

出 版 物:《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期:2006年第25卷第B8期

页      面:140-141页

核心收录:

学科分类:08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(No.60171024) 北京市教委基金资助项目(No.KM200610005030) 

主  题:环境扫描电镜 ESEM 电荷 法拉第杯 评价 二次电子 含水样品 气体分子 

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