微型电场传感器在工频电场测量中的应用研究
Power-frequency Electric Field Measurement Using a Micromachined Electric Field Sensor作者机构:中国电力科学研究院有限公司北京100192 北京智芯微电子科技有限公司电力芯片设计分析实验室北京100192 北京智芯微电子科技有限公司北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心北京100192 北京中科飞龙传感技术有限责任公司北京100083
出 版 物:《电子与信息学报》 (Journal of Electronics & Information Technology)
年 卷 期:2018年第40卷第12期
页 面:3036-3041页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程]
基 金:国家发展改革委物联网技术研发及产业化专项(发改办高技2766号) 国家电网公司总部科技项目(SGJSDK00ZPJS1600203)~~
摘 要:该文基于高性能的MEMS电场敏感芯片研制出一种新型的工频电场测量系统。针对芯片调制被测电场后其输出信号的特征,采用正交相关检测原理提出一种可抑制背景干扰噪声的工频电场解调算法,设计出小型化、空间分辨力高的工频电场测量探头,并在基础上提出MEMS工频电场测量系统的系统级设计方案,成功实现了MEMS电场敏感芯片输出信号的无线采集、滤波、以及电场信号的高精度解调。高压输电线路下工频电场测量结果表明,MEMS工频电场测量系统与传统电场测量仪的测量结果具有良好的一致性。