双柔铰导向式非共振压电直线电机
Non-resonant Piezoelectric Linear Motor with Double Flexible Hinges Guide作者机构:南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室南京210016 广州大学机械与电气工程学院广州510006 南京工程学院机械工程学院南京211167 盐城工学院机械工程学院盐城224051 华侨大学机电及自动化工程学院厦门361021
出 版 物:《振动.测试与诊断》 (Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis)
年 卷 期:2018年第38卷第6期
页 面:1103-1107,1287页
核心收录:
学科分类:080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学]
基 金:国家自然科学基金资助项目(51375224 51405420) 江苏省自然科学基金资助项目(BK20140474)
摘 要:光波导封装等领域对拥有大行程、高精度以及高分辨率的微位移平台有大量需求,在研究微位移平台的过程中设计了一种双铰链导向式非共振压电直线电机。简述了电机的工作原理,完成了电机的结构设计,制作出电机的样机并完成相关的实验,实验设备主要有信号发生器、功率放大器、示波器和激光位移传感器等。实验表明,电机最大速度达到10.36mm/s,分辨率达到0.3μm,理论最大输出推力达到8.33N,电机设计达到预期目的。