CMOS二维风速计控制及检测电路的研究
Study on the controlling and measuring circuits of the two-dimensional CMOS silicon wind sensor作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室江苏南京210096
出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)
年 卷 期：2004年第41卷第6期
页 面：38-43页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：CMOS 二维风速计 硅热流量传感器 斩波放大器 检测电路
摘 要：针对CMOS二维风速风向传感器的工作原理,分析了传感器的控制电路及其特点,并根据该类传感器的特点,重点探讨了信号检测处理电路的形式和特点。拟采用恒温差或者温度平衡控制模式实现对加热器的控制,用斩波放大技术或热Σ-Δ调制技术构建信号处理电路,用标准CMOS工艺实现传感器和控制处理电路的系统集成。
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