气悬浮技术在无接触输运领域的研究进展

作     者：钟伟 顾小玉 黎鑫 ZHONG Wei;GU Xiaoyu;LI Xin

作者机构：江苏科技大学机械工程学院 江苏科技大学江苏省船海机械先进制造及工艺重点实验室 浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室 

出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)

年 卷 期：2018年第54卷第20期

页      面：40-51页

核心收录：

学科分类：080704[工学-流体机械及工程] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0802[工学-机械工程] 0701[理学-数学] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(51675247) 江苏省自然科学基金(BK20181467) 深圳市知识创新计划——基础研究(自由探索)(JCYJ20170816172938761) 江苏高校“青蓝工程”资助项目 

主　　题：无接触 气悬浮 气膜 输运 黏性牵引 

摘      要：在半导体、食品和医药等行业的生产制造过程中需要输运清洁和易损的产品。传统的接触式输运方式容易造成产品表面出现刮痕、裂纹,同时还存在静电和金属污染等诸多问题,已无法适应技术发展的需求。无摩擦非接触的方式在满足精度、洁净度和可靠性等要求方面具有极大优势。综述了国内外无接触悬浮技术的研究现状,概括对比了不同技术的特点、应用对象和场合、环境限制及复杂性。气悬浮具有清洁无污染、不发热、不生磁且构建简单等优势,是当前无接触输运领域的主流技术。气悬浮从实现方式上可分为负压吸浮和正压悬浮,着重阐述了两种方式的实现原理、研究现状及应用进展。在此基础上,深入分析了完全无接触气浮输运的实现方式、研究现状及存在的问题,并进一步指出无接触气浮输运技术的发展趋势,以期推动我国在相关领域的产业升级。