Ba_xSr_((1-x))TiO_3多层膜椭偏光谱研究

作     者：张曰理 莫党 S.U.Adikary C.L.Mak H.L.W.Chen C.L.Choy 

作者机构：中山大学光电材料与技术国家重点实验室物理系广东广州510275 香港理工大学 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2003年第22卷第1期

页      面：13-17页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：广东省自然科学 (批准号 0 2 1771) 教育部留学回国人员科研启动基金 香港理工大学智能材料中心基金资助~~ 

主　　题：BaxSr(1-X)TiO3 多层膜 椭偏光谱 光学常数 钛酸锶钡 光学性质 

摘      要：用溶胶 凝胶技术在Si(10 0 )衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-x) TiO3 薄膜 ,其膜层组分分别为 :Ba0 .7Sr0 .3TiO3,Ba0 .8Sr0 .2 TiO3,Ba0 .9Sr0 .1TiO3,BaTiO3.对生长制备出的多层BaxSr(1-x) TiO3 薄膜进行了变角度椭偏光谱测量 .通过椭偏光谱解谱分析研究 ,首次得到了BaxSr(1-x) TiO3 多层膜结构不同膜层的膜厚和光学常数 .其结果显示 :椭偏光谱分析得到的不同膜层的膜厚与卢瑟福背向散射测量得到的结果基本相符 ;渐变型多层膜中BaTiO3薄膜的折射率比单层BaTiO3 薄膜折射率大许多 ,与体BaTiO3 的折射率相接近 ,这说明渐变型多层膜中BaTiO3 薄膜的光学性质与体材料的光学性质接近 .