对称相位函数掩模化的研究
MASKING OF SYMMETRICAL PHASE FUNCTION作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610209
出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)
年 卷 期：2000年第29卷第3期
页 面：255-259页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
摘 要：本文对各种连续对称相位函数及其特性进行了分析 ,讨论了相位函数的 2 π调制、2 N 和 N - 1法量化等问题及数据处理过程 ,提出二元衍射元件 CIF( Caltech IntermediateForm)格式掩模数据的生成方法 ,并建立了实用软件 。
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