A new micro programmable blazed grating (μPBG) and its application to multispectral imaging
A new micro programmable blazed grating (μPBG) and its application to multispectral imaging作者机构：Micro and Nano Electromechanical Systems Laboratory Northwestern Polytechnical University Xi'an 710072 China
出 版 物：《Chinese Science Bulletin》 (中国科学通报)
年 卷 期：2010年第55卷第19期
页 面：1112-1116页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学]
基 金：supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 50775189) the Doctorate Foundation of Northwest-ern Polytechnical University (Grant No. CX200611)
主 题：多光谱成像 闪耀光栅 PBG 可编程 微型 应用 光谱波长 凹坑结构
摘 要：一个新微可编程的燃烧栅栏(PBG ) 被设计，制作并且描绘了使用二层的多晶硅表面 micromachining 过程。介绍的 PBG 在结构简单并且有为一个宽波长范围的连续光谱的调节的能力。最大化运作的燃烧角度，当为栅栏条板的关键部件，和它的高度接近了空气差距，酒窝结构被采用。由大小，发达 PBG 样品能到达 5.19 的一个最大的燃烧角度 ???????? 瘠瑡牥瑩吗？
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