超导太赫兹直接检测器的制备技术研究
Preparation of superconducting terahertz direct detector作者机构：南京大学超导电子研究所南京210093
出 版 物：《低温与超导》 (Cryogenics and Superconductivity)
年 卷 期：2018年第46卷第10期
页 面：40-44页
学科分类：0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器]
基 金：国家自然科学基金项目(11474154 61571219)资助
主 题：Nb/Al-AlOx/Nb 隧道结 太赫兹检测器 斜坡刻蚀 制备工艺
摘 要：本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题,成功制备出超导太赫兹直接检测器样品。
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