非侵入式无线无源MEMS眼压传感器

作     者：王军波 何超超 陈德勇 陈健 魏秋旭 WANG Junbo ,HE Chaochao, CHEN Deyong,CHEN Jian ,WEI Qiuxu

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《电子与信息学报》 (Journal of Electronics & Information Technology)

年 卷 期：2018年第40卷第11期

页      面：2787-2794页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金(61372054) 北京市自然科学基金(4152056)~~ 

主　　题：MEMS 眼压传感器 无线无源 Parylene 聚二甲基硅氧烷 

摘      要：连续监测眼压对于辅助诊断与治疗青光眼疾病具有重要作用,现有的眼压传感器存在相对灵敏度较低、中心谐振频率较高、制作工艺难度大等问题。为了解决上述问题,该文提出一种基于MEMS的非侵入式无线无源型眼压传感器。该传感器为5层堆叠结构,采用Parylene作为柔性衬底层、铜作为电极层、PDMS作为介电层,其中电极层和介电层构成两个电感和两个电容,形成C-L-C-L串联谐振电路。通过MEMS平面工艺和热塑形方法制作成能够与眼球紧密贴合的曲面形状,这种设计方案能有效地解决传感器的制作工艺难度大等问题。实验结果表明:该眼压传感器的中心谐振频率降低到了40 MHz,相对灵敏度达到1028.57 ppm/kPa,能够分辨出最小50 Pa(0.375 mmHg)的眼压值变化,为实现长期、连续性地监测眼压提供了技术支持。