大气压下氦/氮射频放电冷等离子体特性

作     者：王华博 孙文廷 李和平 包成玉 WANG Huabo;SUN Wenting;LI Heping;BAO Chengyu

作者机构：清华大学工程物理系北京100084 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2007年第47卷第3期

页      面：389-392页

核心收录：

学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 07[理学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 070204[理学-等离子体物理] 0701[理学-数学] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家教育部留学回国人员科研启动基金资助项目 

主　　题：等离子体物理 大气压辉光放电 射频 放电模式 

摘      要：大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在生物医学、电子工业、国防等领域有非常广阔的应用前景。为了拓展等离子体形成气体的种类,降低该技术的应用成本,对大气压下纯氮射频放电进行了研究。实验中采用13.56MHz射频电源和裸露的平板电极在大气压下实现了纯氮射频辉光放电,并比较了纯氦、纯氮和氦-氮混合气体条件下的放电特性。实验结果表明,大气压条件下,纯氦辉光放电具有两个稳定的放电模式(α模式和γ模式),而纯氮目前则只能稳定地工作在γ放电模式。