数字莫尔移相干涉仪误差多点标定与修正研究

作     者：鹿丽华 胡摇 王劭溥 郝群 李林 Lu Lihua;Hu Yao;Wang Shaopu;Hao Qun;Li Lin

作者机构：北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081 北京卫星环境工程研究所北京100094 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第10期

页      面：77-84页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(51735002 61705008)项目资助 

主　　题：干涉测量 多点标定 波前修正 面形检测 

摘      要：干涉测量在现有的光学元件面形检测方法中具有测量精度高的优势,应用相对广泛。但干涉仪元件的加工和装调误差会降低面形检测精度。提出一种利用夏克哈特曼波前传感器对实际干涉仪系统进行多点标定的方法,利用波前标定数据在光学设计软件ZEMAX中实现对虚拟干涉仪系统的修正,结合数字莫尔移相算法,消除实际干涉仪加工和装调误差的影响。选取平面镜和可变形镜作为待测镜分别进行面形测量实验,结果表明,标定和修正后的数字莫尔移相干涉仪系统检测精度提高,与Zygo干涉仪的检测结果相比,面形趋势保持一致且峰谷值（PV）值误差相差在0.07λ（λ=532 nm）以内。