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面向宽谱段共焦测量的消像差准直会聚方法

Aberration-free collimation convergence method for broadband confocal measurement

作     者:宋苗苗 王允 邱丽荣 赵维谦 Song Miaomiao;Wang Yun;Qiu Lirong;Zhao Weiqian

作者机构:北京理工大学光电学院光学测量实验室 

出 版 物:《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期:2018年第39卷第10期

页      面:100-107页

核心收录:

学科分类:08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主  题:宽谱段 共焦测量 准直会聚 消像差 

摘      要:针对宽谱段定焦系统存在色散严重、像差较大的问题,提出一种面向宽谱段共焦测量的消像差准直会聚新方法。该方法利用全反射式结构抑制不同波长定焦时造成的色散效应,利用抛物面结构和环形光束抑制像差,在可见至红外宽谱段内实现了对光束的精确准直与会聚,相对于现有准直会聚方法可以消除色散且明显抑制像差。理论分析和初步实验表明:依据该方法构建的准直会聚系统在不同波长光源情况下聚焦点完全重合,定焦曲线旁瓣得到明显抑制,且定焦分辨力达到72.4μm@1 064 nm,接近环形光束聚焦情况下的理论计算极限。

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