固体浸没透镜高密度光存储系统的焦深
Focal depth in high-density optical storage system with a solid immersion lens作者机构:温州大学物理与电子信息学院浙江温州325027
出 版 物:《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)
年 卷 期:2006年第14卷第3期
页 面:356-359页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要:基于矢量衍射理论,分析和比较了两种等光程的半球形(h-SIL)和超半球形(s-SIL)固体浸没透镜的光场分布,计算了4种材料(玻璃,Si,GaP,金刚石)SIL的焦深和光斑大小。结果表明:当数值孔径相同时,h-SIL的焦深较s-SIL的焦深大,焦深对SIL的折射率比较敏感,而光斑大小对波长照明比较敏感。h-SIL的焦深随透镜数值孔径的增加迅速单调减小,而s-SIL的焦深随透镜数值孔径的增加呈现出只一个周期的振荡行为。s-SIL对透镜的数值孔径要求较低,它更适合应用于高密度光存储和精密光刻。