压电陶瓷驱动器疲劳特性对变形镜校正能力的影响
Influence of Fatigue Characteristics of Piezoelectric Ceramics Actuators on Correction Ability of Deformable Mirror作者机构：四川大学电子信息学院四川成都610064
出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期：2018年第45卷第9期
页 面：283-288页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 0835[工学-软件工程] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 080201[工学-机械制造及其自动化]
基 金：苏州大学省级重点实验室开放课题(KSJ1404) 天津市薄膜光学重点实验室开放基金课题(KJWX170620)
主 题：光学器件 疲劳特性 有限元分析 压电陶瓷 光束质量 校正能力
摘 要：基于变形镜(DM)的影响函数,采用有限元方法对波前校正过程进行了数值模拟,分析了压电陶瓷(PZT)驱动器的疲劳特性对变形镜校正能力的影响。研究结果表明,在压电陶瓷驱动器产生疲劳后,变形镜校正能力下降。待校正畸变波前的峰谷值越大或空间高频成分比例越高,变形镜在驱动器疲劳后的校正能力下降得越明显,且受前者影响更大。
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