基于相位偏折术的大像差透射波前检测

作     者：徐平 王道档 解钟敏 许新科 孔明 Xu Ping;Wang Daodang;Xie Zhongmin;Xu Xinke;Kong Ming

作者机构：中国计量大学计量测试工程学院杭州310018 桂林电子科技大学广西光电信息处理重点实验室培育基地桂林541004 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第9期

页      面：99-105页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0703[理学-化学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：浙江省自然科学基金(LY17E050014) 国家自然科学基金(51775528) 中国博士后科学基金资助项目(188766) 广西光电信息处理重点实验室(培育基地)(GD18205) 质检公益性行业科研专项(201410009) 浙江省“仪器科学与技术”重中之重学科开放基金(JL150508)项目资助 

主　　题：透射波前检测 相位偏折术 光线追迹 大动态范围 

摘      要：针对各种复杂光学与工业元件的表面面形等加工误差检测需求,提出了基于相位偏折术的透射波前检测方法。为获得由透射元件加工误差引入的波像差,建立相位偏折检测系统并对模型化系统进行光线追迹,由实际测量结果相对光线追迹结果的变化计算得到待测元件波像差。并用计算机辅助的结构误差校正方法,对系统结构误差进行校正。为验证检测方法的可行性和大动态范围,分别进行Zygo干涉仪比对实验与工业透射元件检测实验,并对工业透射元件检测中的全反射问题及影响进行分析。结果表明,所提出的检测方法不仅能达到与干涉检测方法相当的检测精度,还能实现大动态测量范围,为各种光学及工业透射元件提供了一种可行有效的波前检测方法。