高精度4英寸硅片腐蚀装置
作者机构：沈阳仪表科学研究院辽宁沈阳110043
出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)
年 卷 期：2004年第5期
页 面：6-7页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
基 金：国家十.五科技攻关项目
主 题：MEMS 传感器 各向异性腐蚀 腐蚀装置 MEMT 硅
摘 要：高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关键技术,并给出了设备的性能测试指标。
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