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用Blanie Johs法校正椭偏光谱仪的样品选择

Sample Choice for the Calibration of Ellipsometers Using Blaine Johs Method

作     者:杜泉 邓学儒 郭文胜 DU Quan;DENG Xue-ru;GUO Wen-sheng

作者机构:西华大学应用物理研究所四川成都610039 四川大学电子信息学院四川成都610041 

出 版 物:《西华大学学报(自然科学版)》 (Journal of Xihua University:Natural Science Edition)

年 卷 期:2005年第24卷第1期

页      面:83-85,91页

学科分类:07[理学] 08[工学] 070302[理学-分析化学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 

主  题:椭偏法 椭偏光谱仪 Blanie Johs校正法 样品选择 

摘      要:用BlanieJohs方法使用三种不同的样品对旋转检偏器类型椭偏光谱仪(RAE)进行了系统校正。校正实验结果表明:对于设计建立的系统,在其各元件设备处于非最佳状态下,BlanieJohs方法仍然成功完成了系统的校正任务,证明该方法具有普适性。但在校正过程中也发现:为了获得高精度的系统校正结果,使用的校正样品并非如BlanieJohs方法介绍的没有限制,而是需要进行一定的选择。

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