用Blanie Johs法校正椭偏光谱仪的样品选择
Sample Choice for the Calibration of Ellipsometers Using Blaine Johs Method作者机构:西华大学应用物理研究所四川成都610039 四川大学电子信息学院四川成都610041
出 版 物:《西华大学学报(自然科学版)》 (Journal of Xihua University:Natural Science Edition)
年 卷 期:2005年第24卷第1期
页 面:83-85,91页
学科分类:07[理学] 08[工学] 070302[理学-分析化学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学]
主 题:椭偏法 椭偏光谱仪 Blanie Johs校正法 样品选择
摘 要:用BlanieJohs方法使用三种不同的样品对旋转检偏器类型椭偏光谱仪(RAE)进行了系统校正。校正实验结果表明:对于设计建立的系统,在其各元件设备处于非最佳状态下,BlanieJohs方法仍然成功完成了系统的校正任务,证明该方法具有普适性。但在校正过程中也发现:为了获得高精度的系统校正结果,使用的校正样品并非如BlanieJohs方法介绍的没有限制,而是需要进行一定的选择。