恒温式微热板电阻真空传感器

作     者：张凤田 唐祯安 余隽 汪家奇 ZHANG Feng-tian;TANG Zhen-an;YU Jun;WANG Jia-qi

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 大连理工大学电子工程系辽宁大连116024 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2008年第16卷第7期

页      面：1253-1257页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.90207003No.90607003) 

主　　题：微热板 电阻真空传感器 恒温 

摘      要：研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空传感器，支撑桥长65μm、宽21μm，微热板与衬底之间的气隙高度为0．5μm；采用表面微机械加工技术成功实现了该传感器的加工。用恒温电路进行测试的结果显示，该微热板真空传感器气压测量范围约2～10^5Pa，且响应特性与理论计算结果相符。