化学气相沉积ZrO_2涂层的表面微观形貌演变

作     者：郝振华 郝安林 熊翔 HAO Zhen-hua;HAO An-lin;XIONG xiang

作者机构：中南大学粉末冶金国家重点实验室长沙410083 安阳工学院安阳455000 

出 版 物：《粉末冶金材料科学与工程》 (Materials Science and Engineering of Powder Metallurgy)

年 卷 期：2015年第20卷第2期

页      面：237-243页

核心收录：

学科分类：081702[工学-化学工艺] 0806[工学-冶金工程] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(2011CB605805) 

主　　题：化学气相沉积 氧化锆涂层 微观形貌 

摘      要：采用ZrCl4-CO2-H2-Ar体系,在不同温度或氢气流量条件下采用常压化学气相沉积法(APCVD)通过不同沉积流程在C/C样品表面制备ZrO2涂层。用X射线衍射分析仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析涂层的物相组成和形貌特征。结果表明:随沉积温度升高,ZrO2涂层表面形貌由小颗粒堆积态向大尺寸多晶转变;氢气流量为0时,只在局部区域出现了少量ZrO2,当氢气流量为400mL/min时,ZrO2涂层晶粒尺寸较大且晶体学平面特征最明显;在氢气流量为800mL/min时沉积出现了副产物ZrC与C;在氢气流量为1600mL/min时,出现沉积副产物ZrC;连续沉积时,得到的ZrO2涂层为山峰状形貌。