压力传感器输出的非线性拟合方法
A fitting method of non-linearity of pressure sensors output作者机构:西安理工大学应用物理系陕西西安710048
出 版 物:《半导体技术》 (Semiconductor Technology)
年 卷 期:2001年第26卷第8期
页 面:11-14页
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要:在讨论了压力传感器非线性输出误差分布规律的基础上,提出了非线性拟合方法,介绍了误差修正即拟合因子中三个基本参量(A,ω,φ)的取值方法。通过对两个压力传感器实际输出数据的修正,使其线性度分别由拟合前的l.89%、206%降低为拟合后的0.69%、0.33%。