宽带镀金正弦光栅(英文)

作     者：毕拉力 邱克强 郑衍畅 徐向东 付绍军 MUHUTIJIANG Bilali;QIU Ke-qiang;ZHENG Yan-chang;XU Xiang-dong;FU Shao-jun

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 新疆师范大学物理与电子工程学院乌鲁木齐830054 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2015年第44卷第4期

页      面：171-175页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：The National High Technology Research and Development Program of China(No.2013AA8044062D) 

主　　题：全息光栅 全息干涉 光栅器件的研制 衍射效率 脉冲压缩 

摘      要：为了满足强激光系统中大尺寸镀金光栅对糟深均匀性的要求,采用梯形光栅-涂胶-离子束溅射镀膜和全息光刻-离子束溅射镀膜两种方法,分别制作了线密度为1 740线/mm,槽深为210nm的宽带镀金正弦光栅.测得其TM波、-1级自准值平均衍射效率在750~850nm范围内大于87%,最高可达90%.这两种方法易控制光栅槽深,去掉光刻胶后基底可继续使用,且制作的光栅的衍射效率和带宽能满足国内一般宽带镀金脉冲压缩光栅的使用要求.