高精度丝径测量中的偏振效应
THE EFFECT OF LIGHT POLARIZATION ON HIGH ACCURACY MEASUREMENTS OF THIN WIRE DIAMETER作者机构:中国科学技术大学物理系 中国科学技术大学精密机械系 日本东京大学精密机械工程系
出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期:1989年第38卷第3期
页 面:399-406页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要:本文主要研究光束偏振方向对高精度丝径测量的影响,将给出简要的实验结果:钢丝直径的实测值随光振动方向与细丝轴线的夹角呈正弦变化;振动平行细丝轴线的偏振光的实测值比垂直的小0.36μm;钢质狭缝宽度测量结果则与钢丝情况相反。在此基础上着重对这种影响进行了理论分析。计及细丝表面反射和不同偏振方向光波反射时产生的不同位相变化,细丝的夫琅和费衍射图也发生了微小的改变,致使直径测量值不同。由此对钢丝的分析表明:光振动平行千丝轴时的直径理论值比季直的小 0.33μm,与实验值 0.36μm。相差 0.03μm;光振动平行缝边时的宽匿理论值比垂直的大0.19μm,与其实验值0.21μm相差0,02μm。它们都接近或小于仪器的测量误差0.04μm,理论与实验符合得很好.