微加热器温度场的数值求解与分析
Analysis and numerical simulation of microheater thermal field作者机构:中国科学技术大学热科学和能源工程系安徽合肥230027 中国科学院广州能源研究所广东广州510640
出 版 物:《中国科学技术大学学报》 (JUSTC)
年 卷 期:2009年第39卷第1期
页 面:69-75页
核心收录:
学科分类:080701[工学-工程热物理] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理]
基 金:国家自然科学基金(50776089) 广东省自然科学基金(7000742)资助
摘 要:为深入探讨微加热器表面产生周期性气泡的普遍规律,需要对微加热器的温度响应和分布进行研究.对微加热器和周围液体工质进行了无量纲固液耦合传热分析,以铂金属薄膜微加热器和液体工质水为例,通过对瞬态能量方程的理论分析和数值模拟,发现产生周期性气泡所需的无量纲加热时间与金属膜的厚度无直接关系,而与无量纲热源值密切相关;对周期性电压方波脉冲加热方式和周期性电流脉冲加热方式进行了对比,认为电压方波脉冲加热方式更符合实验需求;另外还提出了金属表面液膜的过热液层厚度和加热影响区.