光学膜层激光预处理过程研究
Study of laser conditioning process for optical films作者机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900
出 版 物:《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)
年 卷 期:2002年第14卷第3期
页 面:321-324页
核心收录:
学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
基 金:国家 8 63激光技术领域资助课题 (863 -80 4-5 -14 )
主 题:光学膜层 激光预处理 损伤形貌 光学元件 加工工艺 激光装置 损伤阈值
摘 要:光学元件经过激光预处理后 ,其抗激光破坏能力最大提高 2倍以上 ,系统研究激光预处理机理和工艺 ,能安全可靠地提高光学元件损伤阈值 ,提升高功率激光系统的能量密度。研究了几种 sol- gel膜、PVD膜在预处理前后膜层表面的变化 (损伤形貌 )以及损伤阈值的增幅 ,发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤 ,这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关 。