3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试

作     者：崔建军 杜华 朱小平 薛梓 闫勇刚 陈恺 Cui Jianjun;Du Hua;Zhu Xiaoping;Xue Zi;Yan Yonggang;Chen Kai

作者机构：中国计量科学研究院北京100013 河南理工大学机械与动力工程学院河南焦作454000 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2018年第47卷第8期

页      面：280-287页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金(51675497) 北京市自然科学基金(3162034) 国家重点研发计划专项(2017YFF0206305) 河南省高等学校重点科研项目(16A413006) 质检总局科研项目(ANL1617) 

主　　题：激光扫描共聚焦显微镜 放大倍数 测量分辨率 非线性误差 光学相干层析成像 

摘      要：为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,LSCM)的测量性能,提出了一种用于检验LSCM计量特性的测试方法。首先,依据LSCM成像原理,对其技术特点,特别是轴向分辨率和横向分辨率等进行了理论分析;然后对其计量特性的参数指标进行了归纳,并提出相应的性能测试方法。具体包括采用线间隔为微纳米级的网格板等作为标准器,测试LSCM的放大倍数和光学横向分辨率;采用纳米级高度台阶样板测试LSCM的光学轴向分辨率和轴向定位特性;采用激光干涉仪测试样品台工作性能等。实验证明:该方法能够满足当前普遍应用的LSCM的性能测试需求。