溶胶-凝胶法制备纳米SnO_2多孔气敏薄膜研究

作     者：刘国汉 贺德衍 韩根亮 

作者机构：兰州大学物理科学与技术学院甘肃兰州730000 甘肃省科学院传感技术研究所甘肃兰州730000 

出 版 物：《云南大学学报（自然科学版）》 (Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition))

年 卷 期：2005年第27卷第S1期

页      面：105-108,112页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：甘肃省中青年科技基金资助项目(YS021-A22-020) 

主　　题：溶胶-凝胶 纳米SnO2 多孔薄膜 气敏特性 

摘      要：介绍以SnCl2为原料,乙醇为溶剂,HCl为催化物,用溶胶-凝胶法制备SnO2薄膜的研究结果.研究发现,制备的薄膜为非晶体结构.经热处理后,形成四方相的金红石结构.通过X射线衍射谱和扫描电子显微镜对样品的结构分析表明,随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度逐渐提高、粒径逐渐增大;在溶剂中加入表面活性剂聚乙二醇后可以使薄膜表面形貌得到明显改善,晶粒分布变窄,空隙率大大增加,成为一种多孔结构.由于其比表面积大大增强,因而气敏特性会得到显著提高.