大台阶高度测量的外差共焦方法

作     者：闫聚群 柳忠尧 林德教 张蕊 殷纯永 徐毅 许婕 YAN Ju-qun;LIU Zhong-yao;LIN De-jiao;ZHANG Rui;YIN Chun-yong;XU Yi;XU Jie

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2005年第32卷第3期

页      面：389-393页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(50027002) 清华大学博士生创新基金联合资助项目 

主　　题：测量与计量 共焦显微术 外差干涉 相位测量 台阶 

摘      要：台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米.实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20μm高台阶的测量,对准分辨率为0 1 nm,实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性.