微机电系统(MEMS)的干涉测量方法的研究进展
The study of measuring MEMS by interferometry method
作 者：吕捷 王鸣
作者机构：南京师范大学物理科学与技术学院
出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)
年 卷 期：2003年第24卷第5期
页 面：4-6页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
主 题：微机电系统 MEMS 干涉测量 测量方法 激光干涉 光干涉平台
摘 要：目前大量的机械系统中应用了微电子机械设备 ,从而对微机电系统 (MEMS)的测量提出了新的要求。
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